根據(jù)測(cè)試者的目測(cè)來(lái)判別工件是否存在泄漏，泄漏的大小取決于測(cè)試者的主觀判斷，所以它很難消除人為因素對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，同時(shí)也決定了它無(wú)法定量地測(cè)出工件的泄漏率。此外，用這種方法測(cè)試后，還要對(duì)SF6氣體檢漏儀的工件進(jìn)行清潔、干燥及防銹處理等額外工作，對(duì)產(chǎn)品的密封性要求也越發(fā)嚴(yán)格。而早期流行的采用浸水冒泡法進(jìn)行密封性檢測(cè)因與現(xiàn)在工藝的整潔，衛(wèi)生、不相符合而逐漸退出；而在一些行業(yè)特別需求產(chǎn)能大、而質(zhì)譜式檢漏、氫氮混合氣體檢漏因涉及成本原因，在一些要求不高的地方有相當(dāng)?shù)木窒蕖Ｅ鋫漭^長(zhǎng)的柔性不銹鋼探頭，探測(cè)范圍廣。使用方便、靈活，配有抽氣泵、抽氣時(shí)增強(qiáng)測(cè)試靈敏度。

 

    以質(zhì)量流量計(jì)或體積流量計(jì)感測(cè)充入工件氣體流量的變化，以此來(lái)判定SF6氣體檢漏儀工件泄漏量是否在工藝要求合格范圍內(nèi)。流量法的特點(diǎn)是測(cè)量信號(hào)與被測(cè)容積的大小無(wú)關(guān)，測(cè)量信號(hào)直接反映氣體泄漏量。若感測(cè)元件是差壓流量計(jì)則為差壓流量法，其檢漏儀為差壓流量檢漏儀；若是質(zhì)量流量計(jì)則為質(zhì)量流量法，其檢漏儀為SF6氣體檢漏儀。當(dāng)對(duì)一個(gè)密封的容積充氣時(shí)，氣體將會(huì)在容積內(nèi)產(chǎn)生振蕩，此振蕩的強(qiáng)弱也受形腔形狀和材質(zhì)的影響；當(dāng)在同等條件下，充氣壓力越高，振蕩的幅度也越高；被測(cè)件的材質(zhì)和形狀不同，則散熱能力也不一樣，充氣變形量也不一樣；若標(biāo)準(zhǔn)件與被測(cè)件的容積大小不同，材料的散熱能力，充氣變形量不同都會(huì)有相當(dāng)?shù)牟町悺?/div>